Frictional analysis of PVA brush for post CMP cleaning: Effects of rotation speed, compression distance, and fluid viscosity

著录项

• 来源
  《Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena》 |2013年第null期|共4页
• 作者

  Fujiwara T.; Sanada T.; Fukunaga A.; Hiyama H.;

  展开▼
• 作者单位

  展开▼
• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 半导体物理学;
• 关键词

  Friction; Lubrication; Post CMP cleaning; PVA brush; Viscosity;

  机译：摩擦;润滑;CMP后清洁;PVA刷子;粘度;