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Identification of contact regions in semiconductor transistors by level-set methods

机译:通过电平设置方法识别半导体晶体管中的接触区域

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摘要

In this paper we present the formulation of level-set methods for the inverse problem of identifying an interface in the coefficient of an elliptic equation from a boundary measurement. This problem arises from the modeling of the identification of contact regions by boundary measurements for semiconductor transistors. We propose the Gauss-Newton direction as the interface velocity, and implement the scheme for a parameterized class of interfaces.
机译:在本文中,我们提出了用于从边界测量中识别椭圆方程系数中的界面的反问题的水平集方法的制定。这个问题来自于通过半导体晶体管的边界测量来确定接触区域的模型。我们提出高斯-牛顿方向作为界面速度,并为界面的参数化类实现该方案。

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