机译:沉积在硅基底上的掺硅DLC膜的微观结构和纳米力学性能的研究
DLC film; silicon incorporation; XPS; nanoindentation;
机译:沉积在硅基底上的掺硅DLC膜的微观结构和纳米力学性能的研究
机译:HMDS气体和RF-PECVD工艺制备的掺硅DLC薄膜的组织和性能
机译:混合磁控溅射/化学气相沉积法沉积不同浓度的掺硅碳膜的微观结构
机译:硅基掺铝DLC薄膜在铝基板上的润湿特性
机译:加工对硅基底上的镍-锆氧化物金属陶瓷膜的微观结构,渗透和电阻传感器特性的影响。
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:电感线圈和基板之间的距离对ICP-CVD沉积的硅膜的微观结构和光学性能的影响