机译:电感线圈和基板之间的距离对ICP-CVD沉积的硅膜的微观结构和光学性能的影响
机译:灯丝到基板的距离对通过HWCVD技术沉积的碳化硅薄膜的光谱,结构和光学性质的影响
机译:基材温度和前体量对CVD沉积无定形TiO2薄膜光学性质和微观结构的影响
机译:各种衬底材料对等离子体增强化学气相沉积沉积的非晶硅氮氧化物薄膜微观结构和光学性能的影响
机译:底物偏置对MFPUMST沉积的A-C:H膜微观结构及性能的影响
机译:加工对硅基底上的镍-锆氧化物金属陶瓷膜的微观结构,渗透和电阻传感器特性的影响。
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:衬底温度对反应溅射沉积高取向氧化锌薄膜的生长方式,微观结构和光学性能的影响
机译:沉积在硅衬底上的钛镍膜的结构和电学特性