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机译:电容耦合RF Ar等离子体对TiO_2薄膜的腐蚀损伤特性
Ar plasma; Etch damage; Hydrophilicity; Synergy effect; TiO_2 thin film;
机译:电容耦合RF Ar等离子体对TiO_2薄膜的腐蚀损伤特性
机译:气体流量对双频CF_4 / C_4F_8 / Ar电容耦合等离子体中带有非晶碳掩模的低k sicoh膜蚀刻特性的影响
机译:电容耦合射频氩等离子体刻蚀p-和n-GaN表面的损伤特性比较
机译:Cl_2 / C_2F_6 / Ar和HBr / Ar等离子体中Pb(Zr_xTi_(1-x)O_3薄膜的感应耦合等离子体刻蚀
机译:电容耦合RF放电中纳米颗粒的薄膜涂层。
机译:六氟化硫气体和后退火处理对电感耦合等离子体刻蚀钛酸钡薄膜的影响
机译:通过在电感耦合等离子体中加入CH4GA的干蚀刻薄膜表面的研究
机译:sF6等离子体中反应离子刻蚀pZT薄膜的表面分析。