电容耦合等离子体反应器的有嵌入式RF 电极的陶瓷喷头

摘要

本发明涉及电容耦合等离子体反应器的有嵌入式RF电极的陶瓷喷头，具体而言，用于衬底处理系统的喷头组件包括连接到气体通道的背板。面板被相邻连接到背板的第一表面且包括气体扩散表面。电极布置在背板和面板之一中且被连接到一或多个导体。气体空间被限定在背板和面板之间且与气体通道流体连通。背板和面板由非金属材料制成。