用于调整电容耦合RF等离子体反应器中的电极空隙的装置

摘要

一种等离子体处理室包括配置为平衡大气压负载的悬臂组件。该室包括围绕内部区域并在其中有开口的壁。悬臂组件包括用于在该室内支撑基板的基板支架。该悬臂组件延伸穿过该开口以便一部分位于该室的外部。该室包括致动机构，该致动机构可操作以使该悬臂组件相对于该壁移动。