机译:利用金属尖端的近场光学增强技术对纳米压印光刻残留层进行纳米厚度检测的研究
Inspection; Optical; Nanoimprint lithography;
机译:利用金属尖端的近场光学增强技术对纳米压印光刻残留层进行纳米厚度检测的研究
机译:纳米压印光刻中印模变形的建模和仿真:利用背面凹槽提高残留层厚度均匀性
机译:用于光学应用的200 mm硅晶片上的纳米压印光刻工艺:残留厚度刻蚀各向异性
机译:温度对热纳米压印光刻中残留层厚度的影响研究
机译:纳米压印光刻技术制备的多层磁性纳米颗粒用于癌症的磁机械治疗
机译:通过纳米压印光刻技术在光纤端面上制造的钟楼近场探头
机译:纳米压印光刻中的印模偏转的建模和模拟:利用背面凹槽来增强残留层厚度均匀性
机译:聚合物膜厚度和腔体尺寸对压花过程中聚合物流动的影响:纳米压印光刻的工艺设计规则