Zur Kompression von Klassischen Turbo-Molekularpumpen

摘要

In diesem Artikel wird ein fur die Praxis nutzliches Modell vorgestellt, das es erlaubt, die Kompressions-Kurven einer Klassischen Turbo-Molekularpumpe zu berechnen und systematisch zu analysieren. Das Modell basiert auf einer einfachen Differentialgleichung fur den Druck als Funktion des Ortes im Inneren der Turbo-Molekularpumpe. Die Losung dieser Differentialgleichung ermoglicht sowohl die Berechnung der Kompressions-Kurven bei endlichem Gas-Durchsatz (Q > 0) als auch die Berechnung des Druck-Verlaufs im Inneren der Turbo-Molekularpumpe. Es wird die Hypothese aufgestellt, dass die Kompressions-Kurve fur Gas-Durchsatz Null aus einer Kompressions-Kurve bei endlichem Gas-Durchsatz - z. B. Q = l sccm - errechnet werden kann. Der Vergleich mit experimentellen Daten zeigt, dass das vorgestellte Modell eine exzellente qualitative und quantitative Beschreibung der beobachteten Phanomene liefert.