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机译:基于二次电子发射系数测量的等离子体浸没离子注入原位过程监控
机译:基于二次电子发射系数测量的等离子体浸没离子注入原位过程监控
机译:直接测量鞘层加速的二次电子,以监测等离子体浸没离子注入过程中的入射离子通量
机译:等离子体浸没离子注入中鞘层加速的二次电子的能量测量
机译:一种计算辅助光谱技术,用于测量技术射频等离子体中的二次电子发射系数
机译:通过改进的微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石工艺制造的薄膜冷阴极材料的生长,表征和电子场发射测量。
机译:聚合物基底基于等离子体的表面工程中的粗糙度演变和带电:离子反射和二次电子发射的影响
机译:等离子体表面相互作用中二次电子发射系数的原位测量
机译:用于半导体制造的等离子体浸没离子注入工艺。用于原位测量的LinearReentrant交叉场放大器,与数值模拟的比较和噪声机制的研究