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机译:通过电压波形定制在电容耦合等离子体中定制的离子通量-能量分布函数
capacitively coupled plasmas; radio frequency discharges; voltage waveform tailoring; electrical asymmetry effect; distribution functions; ion energy control;
机译:通过电压波形定制在电容耦合等离子体中定制的离子通量-能量分布函数
机译:任意电压波形驱动的电容耦合射频等离子体中离子通量能量分布函数的简单模型
机译:通过在电容耦合等离子体中定制电压波形来控制晶片的电子速度分布,以补偿高纵横比蚀刻特征的表面充电
机译:氩气和CF4中定制的电压波形驱动的电容性放电中的电子功率吸收动力学和离子能量分布
机译:利用电容驱动射频等离子体电压波形剪裁的带电粒子动力学和电子功率吸收动力学的控制
机译:电容耦合等离子体电极上的电压分布用于产生大气压等离子体
机译:定制的离子通量 - 能量分布以电容方式起作用 通过电压波形调整耦合等离子体
机译:电感耦合等离子体反应器中离子能量分布函数的模型蚀刻剖面;应用物理学报