公开/公告号CN100532637C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN03824996.0
申请日2003-09-03
分类号C23C16/00(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人梁挥;徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:03:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-01-18
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/00 变更前: 变更后: 申请日:20030903
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2009-08-26
授权
授权
2006-10-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-08-23
公开
公开
机译: 电容耦合等离子体反应器在等离子体的径向上均匀分布
机译: 电容耦合等离子体反应器在等离子体的径向上均匀分布
机译: 等离子体径向分布均匀的电容耦合等离子体反应器