机译:WF6和Si2H6沉积硅化钨化学气相的动力学模型:反应方案和气相反应速率的确定
tungsten silicide; chemical vapor deposition; reaction engineering; kinetics; electronic materials; materials processing; SURFACE-REACTION KINETICS; RADICAL-CHAIN-REACTIONS; WSIX FILMS; MOLECULAR-SIZE; CVD; SIH4; DICHLOROSILANE; GROWTH; SPECTROSCOPY; TEMPERATURE;
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