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International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA
International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA
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1.
AMORPHOUS SILICON THIN FILM TRANSISTOR FABRICATED WITH A NEW COPPER DRY ETCHING METHOD
机译:
新型铜干刻蚀方法制造的非晶硅薄膜晶体管
作者:
Sangyu Lee
;
Yue Kuo
;
Sangheon Lee
;
Joseph P. Donnely
;
Jun-Yen Tewg
;
Hyunho Lee
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
2.
HIGH PERFORMANCE LOW TEMPERATURE POLYSILICON TFT'S WITH ULTRA-THIN LIQUID-PHASE DEPOSITED GATE OXIDE AND N_2O PLASMA TREATMENT
机译:
超薄液相沉积栅极氧化物和N_2O等离子体处理的高性能低温多晶硅TFT
作者:
Ching-Fa Yeh
;
Shou-Cheng Wang
;
Jyh-Nan Jeng
;
Chen-Yu Lu
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
3.
FULL OPTIMIZED PROCESS OF POLYSILICON TFT'S USING VERY LARGE EXCIMER LASER
机译:
使用非常大的准分子激光器对多晶硅TFT进行充分优化的工艺
作者:
Y. Helen
;
G. Gautier
;
K. Mourgues
;
T. Mohammed-Brahim
;
F. Raoult
;
O. Bonnaud
;
C. Prat
;
D. Zahorski
;
D. Lemoine
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
4.
HIGH QUALITY SILICON OXIDE DEPOSITED WITH A MULTIPOLAR ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA SOURCE
机译:
多极电子回旋共振等离子体源沉积的高质量氧化硅
作者:
Gratiela Isai
;
Alexey Kovalgin
;
Jisk Holleman
;
Pierre Woerlee
;
Hans Wallinga
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
5.
USE OF 120℃ n~+ μc-Si:H IN LOW TEMPERATURE TFT FABRICATION
机译:
120℃n〜+μc-Si:H在低温TFT制造中的应用
作者:
T. Charania
;
A. Sazonov
;
A. Nathan
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
6.
Two-Dimensionally Position-Controlled Ultra-Large Grain Growth Based on Phase-Modulated Excimer-Laser Annealing Method
机译:
基于调相准分子激光退火方法的二维位置控制超大晶粒生长
作者:
M.NAKATA
;
M. MATSUMURA
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
7.
SILICIDE MEDIATED CRYSTALLIZTION OF PATTERNED AMORPHOUS SILICON IN THE ELECTRIC FIELD
机译:
电场中硅化物介导的结晶非晶硅的晶化
作者:
Seong Jin Park
;
Kyung Ho Kim
;
Bong Rae Cho
;
Ah Young Kim
;
Soo Young Yoon
;
Jin Jang
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
8.
POLYSILICON THIN FILM TRANSISTORS ON GLASS-CERAMIC SUBSTRATES
机译:
玻璃陶瓷基体上的多晶硅薄膜晶体管
作者:
Sergei M. Krasulya
;
Nikolay I. Nemchuk
;
Dieter G. Ast
;
J. Gregory Couillard
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
9.
Polysilicon Thin Film Transistor and EEPROM Characteristics for Three Dimensional Memory
机译:
三维存储器的多晶硅薄膜晶体管和EEPROM特性
作者:
John R. Lindsey
;
T. S. Kalkur
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
10.
PROCESS CONSIDERATIONS FOR SMALL AREA A-SI:H VERTICAL THIN FILM TRANSISTORS
机译:
小面积A-SI:H垂直薄膜晶体管的工艺考虑
作者:
I. Chan
;
B. Park
;
A. Sazonov
;
A. Nathan
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
11.
ACTIVE PIXEL TFT ARRAY FOR DIGITAL IMAGING APPLICATIONS
机译:
用于数字成像应用的有源PIXEL TFT阵列
作者:
K.S. Karim
;
A. Nathan
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
12.
ADVANCES IN PRINTED LIQUID CRYSTAL DISPLAYS WITH PLASTIC SUBSTRATES
机译:
带有塑料基材的液态液晶显示器的研究进展
作者:
Ernst Lueder
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
13.
LOW TEMPERATURE POLY-Si TFT-LCDS USING P-TYPE TECHNOLOGY
机译:
采用P型技术的低温多晶硅TFT-LCD
作者:
Kee-Jong Kim
;
Yong-Min Ha
;
Ju-Cheon Yeo
;
Byeong-Koo Kim
;
Hong-Seok Choi
;
Dong-Gil Kim
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
14.
LOW FREQUENCY NOISE IN CADMIUM SELENIDE THIN-FILM TRANSISTORS
机译:
硒化镉薄膜晶体管的低频噪声
作者:
M. Jamal Deen
;
S.L. Rumyantsev
;
I. Click
;
A. Smozh
;
M. Westcott
;
D. Waechter
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
15.
LOW-PRESSURE CVD OF GERMANIUM-SILICON FILMS USING SILANE AND GERMANE SOURCES
机译:
硅烷和锗烷源的低压硅锗薄膜化学气相沉积
作者:
Alexey Kovalgin
;
Jisk Holleman
;
Cora Salm
;
Pierre Woerlee
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
16.
LOW TEMPERATURE PROCESS TECHNOLOGIES AND 'PROCESS INTEGRATION' FOR HIGH PERFORMANCE POLYCRYSTALLINE SILICON THIN-FILM TRANSISTORS
机译:
低温工艺技术和“工艺集成”,用于高性能多晶硅硅薄膜晶体管
作者:
Seiichiro Higashi
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
17.
ANALOG ADDRESSED MICRODISPLAYS
机译:
模拟寻址的微显示器
作者:
Andre Van Calster
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
18.
UNHYDROGENATED POLYCRYSTALLINE SILICON-GERMANIUM THIN FILM TRANSISTORS BY LPCVD
机译:
LPCVD未加氢的多晶硅硅锗薄膜晶体管
作者:
D. Guillet
;
Y. Helen
;
R. Rogel
;
M. Sarret
;
O. Bonnaud
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
19.
TOP-GATE AMORPHOUS Si AIR-GAP TRANSISTORS WITH POLY-Si CONTACTS
机译:
带有多晶硅触点的顶部门非晶硅气隙晶体管
作者:
Ping Mei
;
Jackson Ho
;
Rachel Lau
;
JengPing Lu
;
Bob Street
;
James Boyce
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
20.
THE LATERAL GRAIN GROWTH OF ELA POLY-SI BY EMPLOYING SELECTIVE MELTING AND LATERAL HEAT SINK
机译:
通过选择熔化和侧向热沉实现ELA POLY-SI的侧向晶粒生长
作者:
Jae-Hong Jeon
;
Min-Cheol Lee
;
Jin-Woo Park
;
Min-Koo Han
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
21.
STRUCTURAL DIFFERENCES BETWEEN DEUTERATED AND HYDROGENATED SILICON NITRIDE/OXYNITRIDE
机译:
脱氢和加氢硅氮化物/氧合氮化物之间的结构差异
作者:
An Shih
;
Si-Chen Lee
;
T. R. Yang
;
C. C. Lu
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
22.
POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM TRANSISTORS FREE FROM LARGE ANGLE GRAIN BOUNDARIES
机译:
无大角度晶界的多晶硅硅薄膜晶体管
作者:
Masashi Maekawa
;
Yoshinobu Nakamura
;
Yasuyuki Umenaka
;
Junkou Takagi
;
Masaya Hijikigawa
会议名称:
《》
|
2000年
23.
POLYSILICON THIN FILM TRANSITOR DEVELOPMENT FOR SMART POWER APPLICATIONS
机译:
用于智能电源应用的多晶硅薄膜晶体管开发
作者:
Yujing Wu
;
Francine Robb
;
John Shen
;
Stephen Robb
;
Keith Kamekona
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
24.
NOVEL WET TAPER ETCHING OF INTERCONNECTS ON LARGE AREA SUBSTRATES USING GALVANIC REACTION
机译:
使用电流反应在大面积基材上互连的新型湿锥蚀刻
作者:
Toshiki Kaneko
;
Yuichi Hashimoto
;
Kikuo Ono
;
Kazumi Fujii
;
Kenichi Onisawa
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
25.
FUTURE TRENDS IN LOW TEMPERATURE POLV-Si TFT-LCD BY EXCIMER LASER ANNEAL
机译:
准分子激光退火技术在低温POLV-Si TFT-LCD中的未来趋势
作者:
Shuichi Uchikoga
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
26.
MECHANISMS UNDERLYING THE OFF CHARACTERISTICS OF a-Si:H THIN FILM TRANSISTORS
机译:
a-Si:H薄膜晶体管的关断特性的机理
作者:
Peyman Servati
;
Arokia Nathan
;
A. Sazonov
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
27.
LOW TEMPERATURE POLY-SI TFT WITH LATERAL BODY TERMINAL FOR STABILITY IMPROVEMENT
机译:
带有横向本体端子的低温POLY-SI TFT,可提高稳定性
作者:
J. S. Yoo
;
M. C. Lee
;
I. H. Song
;
M. K. Han
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
28.
MICROCRYSTALLINE SILICON TFTS FOR AMLCDS
机译:
用于AMLCD的微晶硅薄膜晶体管
作者:
I. D. French
;
P. Roca i Cabarrocas
;
S. C. Deane
;
R. B. Wehrspohn
;
M. J. Powell
会议名称:
《》
|
2000年
29.
EFFECTS OF NH_3/N_2 PLASMA TREATMENT ON VERY-LOW-TEMPERATURE (100℃) OXIDES
机译:
NH_3 / N_2等离子处理对极低温(100℃)氧化物的影响
作者:
Cheon-Hong Kim
;
Sang-Hoon Jung
;
Woo-Jin Nam
;
Min-Koo Han
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
30.
ECR-PECVD OF SILICON NITRIDE AND HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON AT 80℃ FOR TFTS
机译:
TFTS 80℃下氮化硅和氢化非晶硅的ECR-PECVD
作者:
A. J. Flewitt
;
A. P. Dyson
;
J. Robertson
;
W. I. Milne
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
31.
DEFECT REDUCTION TECHNOLOGIES USED TO IMPROVE CHARACTERISTICS OF POLYCRYSTALLINN SILICON THIN FILM TRANSISTORS
机译:
缺陷还原技术,用于改善多晶硅硅薄膜晶体管的特性
作者:
Y.Tsunoda
;
T.Sameshima
;
S.Higashi
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
32.
ANALYSIS OF THE LEAKAGE CURRENT OF POLY-Si TFT USING COUNTER-DOPING PROCESS
机译:
用反掺杂工艺分析多晶硅TFT的漏电流
作者:
J. Y. Yang
;
S. H. Yu
;
J. H. Kim
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
33.
FLAT PANEL X-RAY IMAGE DETECTORS FOR MEDICAL IMAGING APPLICATIONS
机译:
用于医学成像应用的平板X射线图像检测器
作者:
Y.Izumi
;
Y.Yamane
;
F.Funada
;
S.Adachi
;
S.Yamada
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
34.
ELECTROLESS DEPOSITION OF Ni-P ALLOY IN ELECTRONICS
机译:
电子中Ni-P合金的化学沉积
作者:
T.N. Khoperia
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
35.
A BRIEF REVIEW of THIN-FILM TRANSISTOR RESEARCH DONE in TOKYO INSTITUTE of TECHNOLOGY
机译:
东京工业大学完成的薄膜晶体管研究综述
作者:
Masakiyo MATSUMURA
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
36.
HIGHLY PACKED AND ULTRA-LARGE SI GRAINS GROWN BY A SINGLE-SHOT IRRADIATION OF EXCIMER-LASER LIGHT PULSE
机译:
准分子激光脉冲单射辐照生长的高度堆积和超大SI晶粒
作者:
Y. SANO
;
W-C. YEH
;
M. MATSUMURA
会议名称:
《International Symposium on Thin Film Transistor Technologies Ⅴ Oct 23-25, 2000, Phoenix, Arizona, USA》
|
2000年
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