平板用リモートフィールド渦電流採傷法による局部減肉の評価

摘要

数値電磁場解析により平板用RFECTのプローブのrn評価を行い，検出信号よりある程度の欠陥形状の推定rnが可能であることを確認した．rnまた，今回紹介した結果の他に，実際の装置を用いrnた計測値との比較も行っており，振幅，位相ともに，rn計算値と実測値で良く一致する結果を得ている．また，rnリフトオフが大きな場合や，二重の金属板の裏面に欠rn陥がある場合などの計算，実験も行っており，それらrnについても，ここで紹介したものと同様の結果が得らrnれている．