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机译:在低温条件下利用乙烯在硅片上的热丝分解法制备的表面纳米结构的碳化硅薄膜
Department of Physics, National Dong Hwa University, 1, Sec. 2 Da-Hsueh Road, Shoufeng, Hualien, 97401 Taiwan;
diamond-like material; silicon carbide; thin film structure; chemical vapor deposition;
机译:表面纳米结构的碳化硅薄膜,该薄膜是利用乙烯在低温条件下在硅片上进行乙烯的热丝分解而制成的
机译:尾态联合密度法研究氢化非晶碳化硅薄膜的室温光致发光光谱及其在等离子体沉积氢化非晶碳化硅薄膜中的应用
机译:低温沉积在硅表面的热丝分解乙烯的结构和光谱分析
机译:H2稀释和灯丝温度对热线技术产生的P掺杂碳化硅薄膜性能的影响
机译:改进IV族光子图:研究外延生长,低温硅和掺杂硅薄膜的材料特性
机译:碳化硅-碳化硅纳米粒子在硅晶片表面的生长和自组装成蠕虫状纳米杂化结构。
机译:用热丝CVD法模拟硅片上金刚石薄膜生长中衬底温度分布