シリコン基板上の窒化物半導体パワートランジスタ

摘要

窒化物半導体は、低損失な次世代パワートランジスタとして実用化への期待rnが高まっています。ここでは、高い閾電圧制御性を有する窒化物半導体パワrnートランジスタについて紹介します。