MEMS研究と応用の最新動向

摘要

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は，半導体微細加工などの各種ナノ·マイクロ加工技術を応用して，微小な機械要素と電気要素を1つの基板上に組み込んだセンサ，アクチュエータ，さらにはマイクロ流体デバイスなどの微細デバイス全般のことを示す。MEMS技術によってデバイスの小型化だけでなく，低消費電力，高性能化，またウェハレべルの一括加工による低コスト化が可能になる。今日，MEMSは安全，便利，健康など我々の快適な日常生活を支える重要なデバイスとなった。その応用先は自動車やロボット，民生(家電·情報機器)分野における加速度·ジャイロセンサ，圧力センサなどから，発展著しいバイオ·医療分野でのDNAやタンパク質，細胞を対象とした化学·生体計測に広がり，さらにナノ領域特有の現象や量子力学をベースとした新しい分析·計測技術へも展開されている。