机译:闭环微加工悬浮两轴速率陀螺仪的静态行为
Department of Microsystems EngineeringLaboratory for Microactuators, Institut f??r Mikrosystemtechnik, University of Freiburg, Freiburg im Breisgau, Germany;
Contactless suspension; contactless suspension; inertial sensors; micro-gyroscope;
机译:微调静电悬浮陀螺仪初始悬浮的模糊调节PI控制
机译:微机械静电悬浮陀螺仪的混合微加工和5自由度悬浮
机译:微机械静电悬浮陀螺仪悬浮控制的建模与仿真
机译:微机械静电悬浮陀螺仪的悬浮控制仿真
机译:高性能微机械振动速率和速率积分陀螺仪。
机译:微机械静电悬浮陀螺仪中的自旋速率效应
机译:悬浮力对表面微机械mEms陀螺仪性能的影响
机译:微机械速率陀螺仪的双轴操作