机译:柔性AlN压电薄膜的制备与应用
Beijing Univ Technol Coll Microelect Key Lab Optoelect Technol Minist Educ Beijing 100124 Peoples R China|Chinese Acad Sci Suzhou Inst Nanotechnol & Nanobion Key Lab Nano Devices & Applicat Suzhou 215123 Jiangsu Peoples R China;
Beijing Univ Technol Coll Microelect Key Lab Optoelect Technol Minist Educ Beijing 100124 Peoples R China;
Chinese Acad Sci Suzhou Inst Nanotechnol & Nanobion Key Lab Nano Devices & Applicat Suzhou 215123 Jiangsu Peoples R China;
AlN; FWHM; flexible piezoelectric film; energy harvester;
机译:用于绿色能源应用的UV固化纳米纤维素/ ZnO / AlN聚合物柔性薄膜的合成与压电表征
机译:AlN薄膜的微区压电性能研究及高频声表面波器件的制造
机译:具有非零C轴平均倾斜度的纹理化压电AlN薄膜的合成,用于制造剪切模式谐振器
机译:柔性AlN薄膜基压电压力传感器的制造,用于将植入式人工胰腺的整合
机译:N合金化的AlN薄膜:结构,压电和磁性。
机译:具有SU-8 / PDMS支持层的集成压电AlN薄膜用于柔性传感器阵列
机译:用于绿色能源应用的UV固化纳米纤维素/ ZnO / AlN聚合物柔性薄膜的合成与压电表征