System Detects, Classifies Wafer-Edge Defects

Alexander E. Braun

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System Detects, Classifies Wafer-Edge Defects

机译：系统检测，分类晶圆边缘缺陷

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Edge defectivity has become a critical device manufacturing problem, yet from many device makers' perspective, there is a lack of inspection capability for the wafer's edge. Several solutions provide excellent results; however, they seem mostly targeted at wafer manufacturers whose prime concern is chips, cracks and other physical damage on the wafer.

机译：边缘缺陷已成为关键的设备制造问题，但是从许多设备制造商的角度来看，晶圆边缘的检测能力不足。几种解决方案可提供出色的结果。但是，它们似乎主要针对的是主要关注晶片上的碎屑，裂缝和其他物理损坏的晶片制造商。

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来源
《Semiconductor International》 |2006年第12期|p.38|共1页
作者
Alexander E. Braun;
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作者单位

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收录信息美国《工程索引》(EI);
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

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