一种用于优化晶圆边缘缺陷的晶圆传送方法

摘要

本发明公开了一种用于优化晶圆边缘缺陷的晶圆传送方法，通过预判断晶圆对准缺口经过隔离阀位置传感器时四个可能的遮挡位置，在搬运控制器上进行初始角度、单次旋转角度以及旋转角度范围的设定，以避免晶圆对准缺口从该四个遮挡位置经过位置传感器而引起搬运控制器对晶圆圆心位置的误判，从而实现对晶圆传送位置的精确控制，达到使晶圆安置于静电吸附盘中心的目的，避免造成背面氦气流量异常引起的宕机以及晶边缺陷的产生。本发明方法实现方便，效果显著，可适用于工艺过程中对晶圆中心对准要求较高的制程。