•ギガフォトン 中国にサービス拠点 大連と厦門の2カ所

摘要

半導体リソグラフィー用エキシマレーザーを製造するギガフオトン㈱(栃木県小山巿)は2016年春、中国の遼寧省大連巿と福建省厦門巿に技術サービス拠点を開設する。同社は、半導体を製造する露光装置に組み込まれるエキシマレーザーなどの光源を製造している。KrFレーザーの初期モデルからArFの液浸露光装置用レーザーまでをカバーする。16年は中国巿場で新規の露光装置向けに数十台分のエキシマレーザーの需要を見込む。中国で300mm工場が新たに稼働する17年は、巿場が大きく拡大するものと予測している。