•NICTと農工大イオン注入採用の縦型酸化ガリ開発

摘要

情報通信研究機構(NICT)は、東京農工大学と共同で、イオン注入ドーピングを用いた縦型酸化ガリウムトランジスタの開発に世界で初めて成功した。シリコンや窒素を用いた独自のn型、P型イオン注入ドービング技術を採用し、量産性の高いプロセスも実現している。