Formfactor，プローブカードの新技術を発表パッドサイズのシュリンクと狭ピッチ化に対応

摘要

FormFactorは，米国カリフォルニア州にあるMEMS専用の自社ファブを生産拠点とし，ウェ－ハテスト用プrnローブカードの開発・生産を行っている。メモリおよびロジック向けに事業を展開しているが，売上高に占めrnる割合はメモリ向けが高くなっており，現在はDRAMが70％，フラッシュメモリが15％を占める。本稿でrnは，日本法人代表取締役社長・米国本社副社長の本田誠氏への取材を基に同社プローブカードの最新技術につrnいてまとめる。