触媒原子をシリコンナノワイヤーに大量注入

摘要

シリコンナノワイヤーへの触媒原子の大量注入について、モントリオール工科大のO.Moutanabbir博士らが報告している。(ネイチャー7443号) ナノワイヤーは、成長中に気相から不純物を取り込むことによってその基本特性が大きく変わるため、こうしたプロセスは多種多樣な新しいナノテクノロジー分野で極めて重要である。とくに、Ⅲ族とV族のドーパントの挙動を精密に制御することは、シリコン(Si)ナノワイヤー系デバイスの開発では非常に重要なステップとなっている。