ALD-Al_2O_3に埋め込まれた多結晶シリコンナノワイヤーの光音響分光による研究：シリコンをナノワイヤー化したときの光音響特性の変化

摘要

MAE（Metal-assisted Etching）を用いて作製した多結晶シリコンナノワイヤーアレイの光音響分光（PAS）測定を行った。分光透過率から吸収特性は求められなかったが、PAS法なら簡便に求めることが可能である。