ダイヤ乇ンドMEMSセンサチツプ開発

摘要

物質·材料研究機構(NIMS)の廖梅勇主幹研究員、呉海崋NIMS研修生、寺地徳之主席研究員らの研究グループは、室温で世界最高レベルの高品質因子(Q値)を持つダイヤモンドカンチレバーと、世界初の電気信号による駆動とセンシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサチップを開発した。既存のシリコン製MEMSの感度や信頼性を大幅に向上させるダイヤモンドMEMSという新しい分野を開收起