単結晶タイヤモンドMEMSセンサーチップの開発に成功

摘要

物質·材料研究機構(NIMS)は、室温で世界最高レベルの高品質因子(Q値)を持つダイヤモンドカンチレバーおよび世界初の電気信号による駆動と、センシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサーチップの開発に成功した。既存のシリコン製MEMSの感度や信頼性を大幅に向上させるダイヤモンドMEMSという、新しい分野を開く成果として期待される。