NIMS、超高品質因子を持つダイヤモンドカンチレバーとセンサーチップの開発に成功

摘要

物質·材料研究機構（NIMS）は、室温で世界最高レベルの高品質因子（Q値）をもつダイヤモンドカンチレバーおよび世界初の電気信号による駆動と、センシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサーチップの開発に成功した。開発した単結晶ダイヤモンドMEMSチップを実際に駆動させたところ、高感度、低い動作電圧、高温動作（600°C）な物質·材料研究機構は、ダイヤモンド表面を席どの非常に高い性能を示した。既存のシリコン製MEMSの感度や信頼性を大幅に向上させるダイヤモンドMEMSという新しい分野を開く成果として期待される。