机译:氦离子光刻中点扩散函数建模
77 Massachusetts Ave, Building 36, Suite 213, Cambridge, MA 02139,National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland;
Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts;
Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts;
National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland;
Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts,Technical University of Delft, Delft, the Netherlands;
monte carlo modeling; focused ion beam; metrology; electron-beam lithography;
机译:确定电子束光刻的分辨率极限:点扩散函数的直接测量
机译:使用交叉几何图形提取电子束光刻中的点扩散函数
机译:极紫外光刻中的耀斑:计量学,带外辐射,分形点扩展功能和耀斑图校准
机译:基于金属 - 有机簇的负色调抗蚀剂的开发:通过氦离子束前衬里预先筛选至极端紫外线(EUVL)应用
机译:电荷耦合器件中暗电流,残留图像和点扩散功能的表征和建模。
机译:用于三维荧光显微镜的图像恢复使用正交法有效表示深度变化点扩散函数
机译:在氦离子光刻中建模点扩散函数