ALD量産ソリューシヨンアルバックが販売開始

摘要

アルバックは、Oxford Instruments Plasma Technology(OIPT)が発表した、GaN(窒化ガリウム)パワーデバイス業界向けプラズマアトミックレイヤーデポジション(ALD)HVM(high-volume manufacturing)ソリューション「Atomfab」の国内販売を開始する。