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ALD技术及其柔性显示中的应用

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目前显示屏背板均采用化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)作为主要的成膜工艺.本文介绍了原子层沉积技术(ALD)及其在柔性显示中的应用前景,包括水氧阻隔层、绝缘层等.并对比了ALD与CVD沉积薄膜的特性差异.结果显示ALD Al2O3在性能上优于CVD SiOx薄膜.

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来源
《2018中国显示学术会议》|2018年|241-245|共5页
会议地点西安
作者
YU Fengzhi; 俞凤至; GU Weijie; 顾维杰; ZHANG Xuyang; 张旭阳; CHEN Chuang; 陈闯; LI Jin; 李锦; LI Lingang; 李林钢;
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作者单位

中国物理学会;

中国光学光电子行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类显示设备、显示器;
关键词
柔性有机电致发光器件显示屏; 低温多晶硅; 薄膜封装; 原子层沉积;

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