磁気粘性流体を利用した毛細管内面研磨技術の開発

摘要

昨今，マイクロテクノロジー，ナノテクノロジー技術に用いrnられる機器は小型化，高機能化が進行している．その中，キヤrnピラリーと呼ばれる毛細管(内径300μm以下)の内面には，rn物質滞留防止等の観点から高精度仕上げの要求が高まっている．rnしかし，このような毛細管の内面は，研削砥石の加工力を制御rnすることや電解研磨用の電極の設定も難しくなる．そのため，rn毛細管内へ容易に工具を供給でき，かつ加工力が制御可能な新rnしい加工技術の開発が切望されている．