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机译:聚硅氧烷薄膜沉积的大气压等离子体放电及与低压工艺的比较
机译:大气压等离子体液体沉积和大气压等离子体增强化学气相沉积沉积的聚乙二醇薄膜:工艺,化学组成分析和生物相容性
机译:聚硅氧烷和SiOx薄膜的大气压辉光放电沉积
机译:大气压等离子体射流在大气压等离子体下增强电致变色有机镍氧化物薄膜的化学气相沉积
机译:低压和大气压等离子体喷射系统及其在薄膜沉积中的应用
机译:大气压等离子体CVD工艺的设计,该工艺使用介电势垒放电沉积氮化硅薄膜。
机译:薄膜沉积含有丁香酚的大气压介质屏障放电:排放和涂层表征
机译:通过大气压辉光放电等离子体沉积SINX薄膜。
机译:氩气和氢气低压射频等离子体中氯硅烷等离子体变量与si薄膜沉积过程的相关性