等离子体物理学——大气压下氦／氮射频放电冷等离子体特性

摘要

大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制，在生物医学、电子工业、国防等领域有非常广阔的应用前景．为了拓展等离子体形成气体的种类，降低该技术的应用成本，对大气压下纯氮射频放电进行了研究．实验中采用13．56MHz射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电，并比较了纯氦、纯氮和氦-氮混合气体条件下的放电特性．