低气压下射频表面介质阻挡放电等离子体的电特性和发射光谱特性

摘要

本文研究了低气压下射频表面DBD的电特性和发射光谱特性，实验系统测量了气压对放电能量，等效电容和发射光谱强度的影响，实验结果对研究提高射频等离了体控制激波的能力提供了参考。实验表明,当气压升高至30 kPa时,由电荷-电压(Q-V)李萨如图计算出的单周期放电能量开始明显增加,然而等效电容开始明显减小.气压1 kPa时,利用气体放电化学动力模型计算得到射频DBD等离子体的振动温度0.331 eV,电子温度2.763 eV和电子密度4.567×1012 cm-3.气压低于4 kPa时,表征电子温度的Ⅰpeak391.4Ⅰ380.5peak随气压增加而急剧减小,气压大于4 kPa后Ⅰpeak391.4Ⅰ380.5peak基本保持不变.与正弦波作用下的DBD相比,射频放电具有更高效的加热能力,在激波控制方面具有很大潜力.