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机译:高长宽比SU8亚微米结构的软X射线光刻
Insitute of Microstructure Technology Forschungszentrum Karlsruhe Postfach 3640 76021 Karlsruhe Germany;
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机译:高长宽比SU8亚微米结构的软X射线光刻
机译:具有高纵横比聚合物亚微米结构的设备的X射线光刻
机译:软X射线干涉光刻技术制备高长径比纳米级周期性结构
机译:高纵横比亚微米结构的软X射线光刻
机译:使用波导结构产生的高次谐波产生的软X射线光的准相位匹配。
机译:用于制备自组织软微蜂窝的粘弹性光刻技术高纵横比的结构
机译:使用Synchrotron硬X射线光刻制造斜亚微米结构
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