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Fabrication of Oblique Submicron-Scale Structures Using Synchrotron Hard X-ray Lithography

机译：使用Synchrotron硬X射线光刻制造斜亚微米结构

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Kanghyun Kim; Kyungjin Park; Hyoryung Nam; Geon Hwee Kim; Seong Kyung Hong; Suhyeon Kim; Hyeonsu Woo; Seungbin Yoon; Jong Hyun Kim; Geunbae Lim;
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年度 2021
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