机译:晶圆级等离子体激活键合:MEMS制造的新技术
EV Group DI E. Thallner Str. 1 4782 St. Florian am Inn Austria;
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机译:晶圆级等离子体激活键合:MEMS制造的新技术
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机译:等离子活化晶圆键合:用于MEMS制造的新型低温工具
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机译:采用标准引线键合技术的NiTi形状记忆合金线的晶圆级集成,用于制造微执行器