机译:硅基SiP中具有厚BCB /金属层间连接的RF无源器件的晶片级多层集成
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机译:MEMS-CMOS电容式触觉传感器的集成和封装技术,适用于使用厚BCB隔离层和背面刻有凹槽的电连接的机器人
机译:使用Cu-BCB工艺在厚氧化物基底上的高性能RF集成无源器件
机译:MEMS CMOS触觉传感器的集成和封装技术,用于机器人应用,该应用采用模制的厚BCB层和背面刻槽的电连接
机译:晶圆级封装的高性能MEMS可调无源和带通滤波器
机译:使用预图案化BCB聚合物的RF MEMS应用的晶圆级封装方法
机译:用于晶片级封装和RF无源器件集成的高电阻多晶硅衬底的特性
机译:金属多层膜:磁各向异性和磁性层间耦合的实验研究