机译:用于暴露铜线的改进蚀刻配方,可实现可靠的拉线
NXP Semicond, Prod Diagnost Ctr, Gerstweg 2, NL-6534 AE Nijmegen, Netherlands;
NXP Semicond, Prod Diagnost Ctr, Gerstweg 2, NL-6534 AE Nijmegen, Netherlands|NXP PQC KHH, Kaohsiung, Taiwan;
NXP Semicond, Prod Diagnost Ctr, Gerstweg 2, NL-6534 AE Nijmegen, Netherlands|NXP PQC BKK, Bangkok, Thailand;
AECQ-006; Cu wire; Stitch; BTA; AgNO3; Pull; Laser; Decapsulation;
机译:绝缘铜线焊接中的缝合强度研究
机译:高度可靠的分子孔堆叠(MPS)/铜互连,具有蚀刻后处理和再溅射工艺的最佳结合
机译:具有原位蚀刻表面修饰的等离子蚀刻技术,可实现高度可靠的低k / Cu双镶嵌互连
机译:AuAg / Pd / Ni镀铜铅线上的Cu线缝合强度:auag厚度的影响
机译:Cu线缝合粘合的研究。 (报告2)。电线变形行为对粘合性的影响。