...
机译:低温下硅表面亚单层氧化物生长下的缺陷转变
Silicon; Surface recombination; Initial oxidation;
机译:先进的低电子温度微波激发高密度等离子体系统在低温(400)和高生长速率下用于半导体器件制造的氧化硅和氮化硅薄膜的生长
机译:低温下电子辐照的高电阻率p型硅的主要缺陷转变
机译:大气压等离子体化学气相沉积在低温(500-800℃)下无缺陷生长外延硅
机译:低温PECVD氧化物和氮化物对硅表面和本体缺陷的钝化
机译:低温下基于氧化硅的表面的纳米键合:通过分子动力学和键合表面形貌,亲和力和自由能表征的键合相模型
机译:低温条件下在氢封端的硅(111)上形成稳定的Si-O-C亚单层
机译:硅(111)上的银:亚单分子层覆盖下的表面结构转变和痕量污染物效应
机译:通过低温pECVD氧化物和氮化物钝化硅表面和体缺陷