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机译:光刻胶聚合物分子量对线边缘粗糙度的影响及其蒙特卡罗模拟的计量
Institute of Microelectronics (IMEL), NCSR "Demokritos", P.O. Box 60228, Aghia Paraskevi, Attiki 15310, Greece;
line-edge roughness; resist dissolution; monte-carlo simulation; scaling analysis;
机译:常规和化学放大的光致抗蚀剂的模型聚合物链结构和分子量对线边缘粗糙度的影响。随机模拟
机译:分子抗蚀剂的中尺度动力学蒙特卡洛模拟:光酸均质性对分辨率,线边缘粗糙度和灵敏度的影响
机译:分子抗蚀剂的中尺度动力学蒙特卡洛模拟:光酸均质性对分辨率,线边缘粗糙度和灵敏度的影响
机译:线边缘粗糙度的材料起源:蒙特卡洛模拟和缩放分析
机译:下一代光刻的线边缘粗糙度研究:碳纳米管在数百纳米图案测量中的应用。
机译:EUV光刻胶的分子模型揭示了链构象对线边缘粗糙度形成的影响
机译:低分子量体系中的星形聚合物及其在低粗糙度光刻胶中的应用
机译:用蒙特卡罗模拟退火技术构建交联聚合物网络用于原子分子模拟。