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机译:适用于193 nm光刻应用的SLM器件
ASML, Design Engineering, 77 Danbury Road, Wilton, Connecticut, USA;
ASML, Design Engineering, 77 Danbury Road, Wilton, Connecticut, USA;
ASML, Design Engineering, 77 Danbury Road, Wilton, Connecticut, USA;
ASML, P.O. Box 324, 5500AH Veldhoven. The Netherlands;
ASML, P.O. Box 324, 5500AH Veldhoven. The Netherlands;
ASML, P.O. Box 324, 5500AH Veldhoven. The Netherlands;
Brion Technologies (an ASML Company), Santa Clara California, USA;
IMEC, Leuven, Belgium;
IMEC, Leuven, Belgium;
spatial light modulator SLM; optical maskless lithography OML; micro-mirror; aerial image; calibration; maskless; MEMS; mirror; electrode; design; fabrication; integration; packaging; electro-mechanical; qualification; imaging;
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