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机译:杠杆机制驱动的高填充因子,大扫描角,两轴扫描仪阵列的设计,制造和表征
Comb-drive actuator; leverage mechanism; two-axis micromirror; wavelength-division multiplexing (WDM); wavelength-selective switch (WSS); Comb-drive actuator; leverage mechanism; two-axis micromirror; wavelength-division multiplexing (WDM); wavelength-selective s;
机译:使用大扫描角度,高填充因子,两轴MEMS扫描器阵列的高端口数波长选择开关
机译:具有高填充因子的无万向节MEMS两轴光学扫描仪阵列
机译:用于波长选择开关应用的高填充系数微镜阵列的设计,制造和表征
机译:使用自组装垂直梳和扫描角度放大机制的MEMS 1-D光学扫描仪的设计和制造
机译:在1--2.6微米波长范围内的高性能InGaAs / InP焦平面阵列的设计,制造和表征。
机译:具有5V兼容两轴PZT驱动的MEMS扫描镜具有机械杠杆结构适用于微型LiDAR应用
机译:具有高填充系数的万向节mEms双轴光学扫描器阵列
机译:用于光伏聚光器阵列的低成本双轴太阳能跟踪结构的设计和制造