机译：具有高填充因子的无万向节MEMS两轴光学扫描仪阵列
机译：使用大扫描角度，高填充因子，两轴MEMS扫描器阵列的高端口数波长选择开关
机译：杠杆机制驱动的高填充因子，大扫描角，两轴扫描仪阵列的设计，制造和表征
机译：用于无万向节两轴静电扫描仪的成角度的垂直梳状电极的微装配工艺
机译：高填充因子，小尺寸MEMS微镜和微镜阵列的开发和应用。
机译：基于两轴扫描MEMS镜的内窥镜光学相干断层扫描中图像失真的校正
机译：由径向垂直梳状驱动器驱动的双轴mEms扫描仪
机译：用于高填充因子，敏捷光学相位阵列的静电驱动的大孔径微镜致动器组件。
