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机译:用于原位TEM原子力显微镜的MEMS传感器
Atomic force microscopy (AFM); MEMS; force measurements; in situ transmission electron microscope (TEM); nanowire characterization;
机译:MEMS传感器,用于原位TEM纳米压痕,同时进行力和电流测量
机译:MEMS力传感器在SEM和TEM中纳米级薄膜原位机械表征中的应用
机译:具有集成压阻传感器和热双压电晶片执行器的微机械原子力显微镜传感器,用于高本征模式下的高速攻丝模式原子力显微镜相位成像
机译:MEMS传感器用于原位TEM原子力显微镜
机译:生长晶体的原子原子力显微镜显示晶体生长和添加剂的掺入基本机制
机译:带有石英音叉力传感器的原子力显微镜侧壁成像
机译:用于闭环高速原子力显微镜的单片MEMS位置传感器