机译:通过批量微加工在SOI晶圆中实现的混合RF-MEMS开关
DepartmentofElectricalEngineering,Technion—IsraelInstituteofTechnology,Haifa,Israel;
Flip chip; GaAs; RF microelectromechanical systems (MEMS); hybrid; shunt; silicon on insulator (SOI); switch;
机译:双面SOI批量微加工的Ku波段双SPDT RF-MEMS开关
机译:采用SOI层分离设计的12GHz大体积微机械加工RF-MEMS相移器
机译:波导分层分层设计的SOI体微机械双SPDT RF-MEMS开关及其开关机构
机译:在块状硅晶片上实现的Si-On-ONO(SOONO)器件,用于完全耗尽的SOI晶体管和4位闪存应用
机译:用于扫描微光学组件的混合表面/本体微加工工艺。
机译:可向低压和快速响应的RF-MEMS开关横向移动的三电极驱动器
机译:通过波导和切换机构的层明智的分离设计,SOI批量微机器双SPDT RF-MEMS开关
机译:silicon Bulk micromachined Hybrid Dimensional artifact