Silicon ; Micromachining ; Accuracy ; Calibration ; Fabrication ; Hybrid systems ; Machining ; Miniaturization ; Measuring instruments ; Calibration standards;
机译:使用UV-LIGA表面微加工和(110)硅块体微加工的高纵横比梳齿执行器
机译:具有Mo / AIN / Mo结构的硅大体积微机械化高Q薄膜大体积声谐振器
机译:通过外延硅悬臂梁和块状硅证明质量的微机械压电加速度计
机译:硅散装微机械混合尺寸艺术表征
机译:用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:硅块体微加工混合尺寸工件。